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SID4 UV-HR : Analyseur de front d'onde pour les longueurs d'onde UV

SID4 UV-HR

PHASICS étend sa gamme d'analyseurs de front d'onde SID4 aux longueurs d'onde UV. Grâce au SID4 UV-HR, tous les avantages de la technologie PHASICS (interférométrie à décalage multilatéral) sont accessibles de 190nm à 400nm.

Pour la métrologie optique, le SID4 UV-HR permet de diagnostiquer avec précision des composants optiques (utilisés en lithographie, semi-conducteurs, …) ou caractériser des surfaces (inspection de wafers…).

Avec une telle sensibilité, le SID4 UV-HR est la solution UV au meilleur rapport qualité/prix pour la caractérisation haute résolution.

Les points forts du SID4 UV-HR
  • très haute résolution (250 x 250)
  • large pupille d'analyse (8,0mm sur 8,0mm)
  • couverture du spectre UV
  • haute sensibilité (0,5nm)
  • rapport signal sur bruit optimal
  • adapté à la caractérisation optique
Spécifications détaillées du SID4 UV-HR
Ouverture8,0 x 8,0 mm²
Résolution transverse32 µm
Echantillonnage 250 x 250
Gamme de longueurs d'onde190 - 400 nm
Précision (absolue) 10 nm
Sensibilité 0,5 nm
Dynamique >200µm
Mesure de courbure de sensibilité <5. 10-4 m-1
Fréquence d'analyse 1 fps
Fréquence d'acquisition 30 fps
Dimensions (lxHxL)95 x 105 x 84mm
Masse900g