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PHASICS étend sa gamme d'analyseurs de front d'onde SID4 aux longueurs d'onde UV. Grâce au SID4 UV-HR, tous les avantages de la technologie PHASICS (interférométrie à décalage multilatéral) sont accessibles de 190nm à 400nm. Pour la métrologie optique, le SID4 UV-HR permet de diagnostiquer avec précision des composants optiques (utilisés en lithographie, semi-conducteurs, …) ou caractériser des surfaces (inspection de wafers…). Avec une telle sensibilité, le SID4 UV-HR est la solution UV au meilleur rapport qualité/prix pour la caractérisation haute résolution. Les points forts du SID4 UV-HR
Spécifications détaillées du SID4 UV-HR
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Fiche SID4 UV-HR